84岁的他首先开口，声音中透露出一丝亢奋，
  “小卿，有话直说，要怎么安排，怎么进行，你直接吩咐就是了。”
  大王先生的这句话，相当于代表在场的所有人进行了表态。
  卿云心中感激，他对着所有大佬鞠了一躬，然后看向了那位主持了前两代光刻机研发的徐端颐。
  “徐老，”卿云的目光中带着一丝期待，“您是浸淫此道多年的老前辈，我想请问您，有没有把握根据资料对浸润式光刻机进行研发？”
  徐端颐没有急着回答，他闭目思索了良久，会议室里的气氛也随着他的沉默而变得紧张起来。
  虽然他们都是搞这行的，但半导体是个庞大的系统工程，术业有专攻，要说起光刻机的研发，还得看这位老爷子。
  终于，徐端颐缓缓睁开了眼睛，他的声音中带着一丝沙哑：“有把握，但是……这不解决根本问题。”
  此言一出，会议室里的气氛顿时凝重起来。在座的每一位都是半导体领域的专家，他们当然明白徐端颐所说的‘根本问题’指的是什么。
  表情怪异的黄令仪紧随其后的开了口，“小卿，这份资料非常的重要，对我们国家来说，完全可以说是无价之宝。
  但是……”
  徐端颐接过她的话头继续说着，“小卿，一台光刻机，我们进行拆分，大致分为光源系统、照明系统、投影物镜系统、双工件台系统、以及光罩与晶圆传输系统、调平调焦系统、对准系统七个子系统。
  光刻机性能的三大评价指标是分辨率、套刻精度、和产率，这是一整套极严苛的环境控制、整机控制以及整机软件分析系统。
  可以说光刻机的每一个子系统都在挑战人类工程的极限。”
  他惋惜的叹了口气，“我的意思是，只有这套图纸，是不够的。我们差的……不是一点半点，甚至很多领域，我们的现状是近乎为零。
  坦率的说，给我图纸，给我一年半载，我能造出来，但没法用，你明白吗？”
  卿云闻言并没有什么气馁的神色。
  很正常，毕竟这群老头老太太们，不是和他一样都是重生的。
  他们一直在争气，却没那个解气的经历。
  徐端颐望着他，神色复杂的说着，“小卿，追光……光喊口号是没用的。技术、工艺受限，单单突破一点，是没用的。”
  云帝闻言，眼神毫不躲闪的，淡淡的说着，“老爷子，我明白的。我虽然年轻，但也没那么天真。”
  这个过程，他太清楚了。
  不过……
  云帝此时却笑了笑，“老爷子，这就是我们今天坐在这里来商讨的意义所在。
  我们今天讨论的纲领，就是从源头来解决这一切的。”
  说罢，他又打开了投影仪。
  此时的幕布上面，光刻机器七大子系统赫然出现在ppt中，甚至每个子系统又拆分成不同的细分系统。
  上面的绿色标明了哪些部件是可以国产的，而黄色部分则是哪些部件是现有技术下可以解决的，如光源，以前没有，是国内没人造光刻机，现在有人要造要用，自然是可以解决的。
  毕竟，论到玩激光，华国才是祖宗。
  甚至，单从光源来说，成创天院士的研发的kbbf晶体可以反向卡欧美的脖子，没有这玩意儿，根本就没有euv光刻机。
  而这个晶体，成创天院士以一己之力硬生生的卡了欧美15年的脖子。
  众大佬也知道这种情况。
  一张硕大的图片，让众大佬很是无语。
  “你小子真的是为难我们这些老头子哦！”
  即使是在投影幕布上，那密密麻麻的，字跟蚂蚁大小也差不多，让他们叫苦不迭，纷纷想要起身去前面拿着放大镜仔细看着。
  萧雅适时的将各系统详细分解图在会议室里散发着。
  上面的字体斗大斗大的，倒是让老头老太太们舒服了不少。
  而年纪最大的王守武等人，旁边也专门有国安的人员坐在一边替他们念着。
  又是十来分钟过去，一众大佬纷纷放下了手里的资料以及……手里的放大镜。
  不过望着上面几乎比例可以达到70%的白色区域，都是摇头苦笑着。
  差的太多。
  ……
  第53章 追光行动（3）
  会议室里的气氛变得沉重，大佬们纷纷叹息着，一个个说着难处。
  世纪初中国研究光刻机的难处具体有哪些，他们心中都有一本账。
  徐端颐首先开口，他的声音中透露出一丝无奈：“首先，高精度的光学系统我们国内几乎是空白，从头发展，三五年内都别想有所成果，依赖进口是唯一的选择。
  但一旦我们的光刻机成型，别人很可能不会卖给你的。”
  黄令仪接着补充道：“其次，光刻机中的精密机械部件，我们国内的加工精度和质量控制达不到要求。
  即便是有了设计图纸，没有相应的制造工艺，也是巧妇难为无米之炊。”
  王守武也摇了摇头：“再有，就是人才问题。光刻机的研发需要跨学科的高端人才，而这方面的人才储备，我们远远不足。
  即便是有心培养，也不是一朝一夕能够见效的。”
  严晓浪则是一脸严肃：“还有，就是研发资金的问题。光刻机的研发周期长，投入巨大，而且风险极高。
  没有持续稳定的资金支持，研发工作很难持续进行。”
  黎光楠叹了口气：“最关键的是，我们缺乏经验积累。
  光刻机的研发涉及到众多的技术和工艺，这些都是需要通过长期的实践和探索才能积累起来的。”
  在座的每一位大佬都清楚，这些难处，每一个都足够让一个国家的研发项目停滞不前，更何况是当时的华国，几乎是从零开始。
  研发光刻机的难度，远远超出了他们的预期，在卿云之前的‘商业思维’模式科普下，他们很清楚这不仅是技术上的挑战，更是整个产业链的挑战。
  而此时，卿云却在台上拍了拍手掌，试图提振一下气氛：“诸位前辈，我理解大家的顾虑，但请相信，我既然敢提出这个计划，自然有我的准备。”
  他环视了一圈，继续说道：“先解决有的问题，由徐老爷子带人……老爷子，不要去管核心零部件国产率是多少的问题，你先给我造出来。
  商业化运作你们不要管了，你们只管造出来，剩下的事情，全部交给我。”
  黎光楠皱了皱眉，提出了一个关键问题：“小卿，知识产权怎么办？我们不能不考虑这个问题。”
  卿云笑了笑，他的回答中带着一丝狡黠，“当年钱老爷爷也没管什么知识产权不产权的，造出来才是硬道理。
  如果……”
  他看向了那边皱着眉头沉思的徐端颐，“如果徐老爷子能够快速的把浸没式光刻机造出来，将来这官司有的打。”
  尽管鹰子有‘你们使用了我们未来拥有的技术’这种拳法，但造出来后你管我怎么玩？！
  说罢，望着一脸决绝的徐老爷子，云帝赶紧补了一句，“老爷子，我知道您急，但您先别急。
  晚点出来也无所谓的。让樱花的干式光刻机先出来，也不是不可以的。”
  “你……”徐端颐刚想喷他一句‘落后谁也不能落后樱花’的，突然自己反应了过来。
  人老成精，能平安跑完上世纪那几次运动会并且在现在担任要职的科学家，都是通晓世事的老运动员了，这里面的弯弯绕绕，他们立刻就琢磨了出来。
  而后，一众大佬的眉头开始跳着舞，大王先生更是抚掌笑道，“晚点好！晚点好啊！”
  黎光楠神色古怪的望着台前这个自己的便宜徒弟，心里琢磨着，要不是这小子本职是个企业家，他都想干脆正儿八经收成关门弟子算了。
  做科研，天赋之外，还得有眼光或者说是运气，否则走错了路，一辈子也就蹉跎了。
  而这小子，无疑眼光或者是运气，都是逆天的。
  接着，卿云的语气变得严肃，“不过，徐老爷子，还是要快，留给我们的时间并不多。”
  徐端颐闻言，眼中闪过一丝坚定的光芒，“小卿，你放心，我这条命豁出去了。”
  卿云点了点头，然后继续说道：“第二步，各大科研机构挑大梁，对各个子系统进行攻关，力争在5年内实现国产化率超过50%的目标。
  再多的，无非是时间问题。
  钱，你们不用考虑。至于基础材料什么的，我会启动另外一个计划来解决，绝对不会短科研一个材料。”
  他的话语中透露出强大的自信和决心，让在座的各位大佬都感到了一种前所未有的振奋。
  那边的黄令仪此时却给他破了一盆冷水，“小卿，不要盲目乐观。并不是有光刻机就‘大功告成’，可以开始‘印芯片’了。
  光刻机更像是中间执行的环节，而在执行前后，还需要很多同样重要的工作，比如说计算光刻和量测。”
  术业有专攻，她担心其他做元件和器件的同行不懂，进一步开口解释着，
  “计算光刻指的是利用各种物理，化学和数学模型去计算模拟真实光刻发生的过程和结果。
  通过修改各种参数，寻找最优的参数组合来修正掩膜板的图形和光源形状，来提升光刻的质量。
  这种模拟仿真的思路类似造飞机的时候需要经过很多次的风洞实验，都通过之后才能进行真正的试飞，否则既危险又成本高昂。
  计算光刻已经成为现代光刻技术研发的核心和最重要的环节之一。”
  那边的徐端颐也补充着，“量测，就是进行芯片的缺陷检测，判断芯片是否合格。
  一个晶圆的制作可能包含近百次的曝光，由于每次曝光的间隔都需要对晶圆进行移动调整，为了保证移动的稳定和精准，避免出现小至几纳米的误差导致芯片报废，就需要不断的对晶圆在纳米尺度做量测，并且实现校正和结果的反馈，从而不断的提升良率……”
  徐端颐的话还没说完，就被卿云展示出来的ppt给打断了，而后一脸便秘的望着台前正无良笑着的少年。
  狗日的！
  你便宜老师科普的时候你不打断，我特么说话的时候你就来打脸是吧！
  手里的茶杯盖子都想呼在那臭屁小子的脸上了。
  太不尊老了！
  台上的卿云嘿嘿的笑着，“集成电路制造的主要流程大概是，opc、smo计算光刻-涂胶-曝光-显影-刻蚀-离子注入-光刻胶移除-沉积-下一层制程-量测检验。
  这十大工序，如同上面光刻机器的七大系统，我都进行了考虑和安排……”
  徐端颐的内心虽然被卿云突如其来的ppt展示打断而感到有些尴尬，但随即他的心中却涌起了一股莫名的欣喜。
  他心中暗自思忖：“这小子，确实有两把刷子。这种打脸，打得我舒坦。这说明了，他确实对各个环节都了如指掌，并且一一做了预案。”